近年來,隨著儀器行業的不斷發展,多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發展。由于其突出的表現,受到了廣泛用戶的青睞。目前本產品可以廣泛地應用于半導體、通訊、數據存儲、光學鍍膜等領域中,下面我們就來具體的了解一下這款儀器!
它的光譜范圍:
最初,多波段橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數獨立的波長,較典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源。大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比,多波段橢偏儀可以提升多層探測能力,可以測試物質對不同波長光波的折射率等。 多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如,摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響,因此需要能測量紅外波段的多波段橢偏儀;薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜,到達基底,然后并被探測器檢測到,因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段;對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。
它的應用領域:
目前,多波段橢偏儀可應用于半導體、微電子、MEMS、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科學研究、物理、化學、生物、醫藥…等眾多領域中;同時,本儀器還可以檢測介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質和石墨烯等眾多材料。
多波段橢偏儀有如下特點:
1.對材料的光學常數的測量更精確:這是由激光的窄帶單色性質決定的,激光帶寬通常遠小于1nm,因此能夠更準確地獲得激光波長下的材料的材料參數。
2.可對動態過程進行快速測量:激光良好的方向性使得其強度非常高,因此非常適合對動態過程的實時測量。